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描述
檢測分析
Characterization
材料的元素組成分析、晶體結(jié)構(gòu)分析等
XRD, TEM, XPS
微觀形貌分析
Micro-morphology Analysis
材料與器件的表面/截面形貌分析，三維斷層分析等 
SEM, AFM, SAM
電學(xué)參數(shù)測試 
Electrical Measurement
器件動靜態(tài)參數(shù)、絕緣特性與抗靜電能力等 
Static/Dynamic Electrical Parameters, Insulation and ESD
光學(xué)參數(shù)測試
Optical Measurement
材料與器件的光學(xué)特性分析 
Ellipsometer, Cryogenic Photoluminescence, Spectroradiometer
熱特性測試 
Zth Test
器件熱敏電學(xué)參數(shù)測定、瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)熱阻測試 
TSEP and Thermal Resistance Measurement